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半導(dǎo)體行業(yè)EHS體系認(rèn)證

類別:文章分享 發(fā)布時(shí)間:2021-12-03 瀏覽人次:

在半導(dǎo)體制程工業(yè)中,芯片生產(chǎn)要經(jīng)歷幾百道工序,就會用到大量特殊氣體。大多數(shù)特殊氣體易燃、易爆、劇毒、腐蝕性氣體,為了安全輸送和使用這些危險(xiǎn)氣體,半導(dǎo)體廠將安裝電子特殊氣體系統(tǒng),配備電子特殊氣體柜GC、氣體分配箱VMB、特殊氣體泄漏監(jiān)測報(bào)警器等特殊設(shè)備。

因特種氣體的特殊性,承載特種氣體的氣瓶柜體須為防爆柜體,同時(shí)為保證半導(dǎo)體制程工藝中特種氣體的穩(wěn)定供氣和安全,應(yīng)具備多種功能,如柜內(nèi)氣體泄漏偵測報(bào)警、PLC面板控制、全自動吹掃等,提高使用安全系數(shù),有效的保護(hù)生產(chǎn)安全和人員的生命安全。其次,半導(dǎo)體行業(yè)配置電子特氣柜需要擁有SEMI S2認(rèn)證。

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S2的對象是半導(dǎo)體工藝設(shè)備,是環(huán)境、健康、安全標(biāo)準(zhǔn),即EHS標(biāo)準(zhǔn),因?yàn)榘雽?dǎo)體行業(yè)涉及許多特殊氣體、化學(xué)品和電氣、游離和非游離輻射,如果處理不當(dāng),下游用戶使用容易導(dǎo)致事故甚至災(zāi)難,因此設(shè)備制造商設(shè)備產(chǎn)品如電子氣柜,SEMIS2認(rèn)證極其重要。

從上述描述可以看出,在半導(dǎo)體制造過程中,需要安全和穩(wěn)定使用特殊氣體,普通氣瓶柜在材料和功能上都不能滿足要求,因此半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)配備具有SEMIS2認(rèn)證的電子特殊氣體柜。


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